AES介绍
俄歇电子光谱仪(AES)是一种分析材料表面组织形态及化学结构的仪器,对浅层表面擅长,广泛应用于机械、电子、材料、化工等研究领域。
其原理为利用电子束为激发源,当原子的内层电子受激发而脱离原子时,原子的外层电子将很快的迁降至内层电子的空穴并释出能量,而激发另一外层电子使其脱离原子,激发而脱离原子束缚离开试片表面的电子即为
俄歇电子(Auger Electron),此电子同样具有代表该原子特性的能量,因此分析该俄歇电子(通过明暗成像的方式)可以得到材料成份的信息。
应用领域:
Survey of the sample surface (样品表面元素分析)
Auger depth profile (以Ar+离子枪蚀刻样品表面,得到元素纵深分析)
Auger mapping (在选定范围内作元素分布影像图)
ECSA(XPS光电子能谱) (以X光照射样品表面,观测被游离的光电子,判定其材料元素键结分析)